[18a-136-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[18a-136-10] フェムト秒レーザー干渉加工で形成される金ナノ微粒子のドナー薄膜ターゲット上捕集

〇中田 芳樹¹、村川 恵一¹、奈良崎 愛子²、東海林 竜也³、坪井 泰之³ (1.阪大、2.産総研、3.阪市大)

キーワード：ナノ微粒子、フェムト秒レーザー、干渉パターン加工

金属ナノ微粒子はプラズモニックデバイスや触媒等の様々な応用がある。本研究では金属薄膜のレーザー干渉加工を行い、周期配列ナノドロップ頂点から離脱する金ナノ微粒子をドナー基板上に捕集する手法：Laser-Induced Dot caught On Source target:LIDOS法を提案する。膜厚は30nmから100nm、フェムト秒レーザー(240fs)のフルエンスがF=58.6～169．9mJ/cm²、干渉パターン周期Λ=1.93µmで加工を行った結果、平均粒径r=82nm～188nm、最小標準偏差3nmの均一な金ナノ微粒子が得られた。