[18a-145-1~10] 12.4 有機EL・トランジスタ

[18a-145-8] パッチ状 MoO₃蒸着膜層を持つ有機電界効果トランジスタの特性評価

〇(M2)長谷川 俊介¹、樋口 侑作¹、馬場 暁¹、新保 一成¹、加藤 景三¹、皆川 正寛² (1.新潟大工、2.長岡高専)

キーワード：有機電界効果トランジスタ、メッシュ、酸化モリブデン

活性層にペンタセン薄膜とMoO ₃薄膜を積層したOFETは、界面で形成された電荷移動錯体により、MoO ₃薄膜を持たないOFETに比べてオン電流が大きくなる。しかしオン電流と共にオフ電流も大きくなるため、オンオフ比が小さくなることが課題となっている。これに対して本研究では、メッシュマスクを用いてMoO ₃層を作製することによりオフ電流を低減させ、素子のオンオフ比を向上させることを試みた。