[18a-146-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-146-11] PSD成長した高濃度不純物添加GaNのトンネル接合への応用

〇筆谷 大河¹、上野 耕平¹、小林 篤¹、藤岡 洋^1,2 (1.東大生研、2.JST-ACCEL)

キーワード：窒化ガリウム、スパッタリング、トンネル接合