[18a-146-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-146-7] [講演奨励賞受賞記念講演] ラマン分光法によるGaN単結晶における貫通転位の歪み場解析

〇小久保 信彦^1,2、角岡 洋介^1,2、藤榮 文博¹、大原 淳士¹、恩田 正一¹、山田 永²、清水 三聡²、原田 俊太¹、田川 美穂¹、宇治原 徹^1,2 (1.名大、2.産総研)

キーワード：窒化ガリウム、転位、ラマン分光法

本研究では、ラマン分光法を活用した歪み場解析による転位評価の可能性に注目した。ラマンスペクトルにおけるピークは歪みによりシフトするため、ピークシフトをマッピングし、転位の歪み場を観察できれば、転位のバーガースベクトルを同定できると考えられる。本研究では、ピークシフトのマッピングとエッチング、シミュレーションを比較することにより、GaN単結晶における貫通転位の刃状成分の分類を行った。