[18a-232-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[18a-232-7] GaInAsP/InPリッジ導波路型半導体薄膜DRレーザの高速動作下におけるエネルギーコスト

〇中村 なぎさ¹、吉田 崇将¹、方 偉成¹、高橋 直樹¹、雨宮 智宏^1,2、西山 伸彦^1,2、荒井 滋久^1,2 (1.東工大工、2.東工大未来研)

キーワード：薄膜

大規模集積回路上オンチップ光配線用光源として、我々は半導体薄膜DRレーザを提案・実現してきた。現在、低しきい値電流・高効率動作化を実現しているが大規模集積回路への集積にはさらなる低消費電力化が必要である。前回さらなる低消費電力化を可能とするリッジ導波路型薄膜DRレーザを提案し、今回高速動作に対する消費電力・エネルギーコストの理論検討を行ったので、ご報告する。