[18a-233-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [18a-233-1] 高温プロセスで形成するバイオプローブのための2段階Poly-Si TSV構造

〇安井 大貴¹、山際 翔太¹、久保 寛¹、井戸川 槙之介¹、久保田 吉博¹、河野 剛士¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：TSV、ポリシリコン、バイオプローブ