[18a-233-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[18a-233-8] 【注目講演】光波長計測のためのスパイラル型ブルズアイアンテナを有する光機械振動子の作製

〇Penekwong Khemnat¹、割澤 伸一¹、菅谷 俊夫²、橋本 将太²、河野 行雄²、米谷 玲皇¹ (1.東大院　新領域、2.東工大　未来研・電気電子系)

キーワード：ナノメカニカル振動子、表面プラズモン、光波長

本研究では、光波長の計測に向けて、スパイラル型ブルズアイアンテナと円形膜型振動子を組み合わせ、光機械振動子を作製した。光波長検出特性の評価を行い、評価対象であるレーザー光の光波長を検出できることを確認した。提案したデバイス、原理で光波長検出を達成した。