[18a-431B-1~8] 6.5 表面物理・真空

[18a-431B-1] ハイブリッド型軽量UHVポンプの開発

〇田中 秀吉¹ (1.情報通信研究機構)

キーワード：真空

これまで独自に開発を進めてきた電池駆動可能なCF70規格の小型軽量イオンポンプの内部に加熱活性型ゲッターエレメントを内蔵し、その起動、排気特性について評価した。試作したハイブリッドポンプの全長は約260ミリであり、重量は3.5キログラム程度である。これを容積50リットル程度の超高真空チャンバーに取り付けて標準的な立ち上げ手順を行ったところ、最終到達圧力は1×10^-8Pa程度であり、その真空排気特性はゲッターエレメントの加熱活性化条件に大きく依存することがわかった。