[18p-136-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[18p-136-2] 時間制御型レーザー用試験加工機の開発

〇高田 英行¹、吉富 大¹、奈良崎 愛子¹、鳥塚 健二¹、小林 洋平² (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：レーザープロセッシング、フェムト秒レーザー、自動加工計測

レーザー加工における膨大なパラメータ空間から最適な加工パラメータを効率よく短時間で探索するためには、パラメータ可変時の加工から計測までを一括で自動処理可能なシステムの構築が有用と考える。そこで、熱的・非熱的加工の境界領域を探索するためにパルス幅をフェムト秒からピコ秒まで可変可能なレーザー装置と加工機及び観察系を単一の制御システムで同時プログラミング制御可能なレーザー試験加工機の開発を行った。