[18p-143-1~15] 6.6 Probe Microscopy

△ [18p-143-9] Development of cantilevers with insulating coating for semiconductor carrier distribution imaging using scanning nonlinear dielectric microscopy

〇Koki Takano¹, Kohei Yamasue¹, Yasuo Cho¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:scanning nonlinear dielectric microscopy, semiconductor, carrier distribution

走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)による半導体材料・デバイスにおけるキャリア分布観察では導電性探針,試料表面の酸化膜および半導体で局所的なMIS構造が形成されることがこれまで前提とされてきた.しかしながら,自然酸化膜を形成しない試料では必ずしもMIS構造が形成されない.そこで,本研究では,導電性探針に絶縁膜を成膜し,自然酸化膜を形成しない試料でもMIS構造を形成できる探針の開発を行った.