[18p-212B-1~11] 【CS.8】 7.4 量子ビーム界面構造計測, 9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18p-212B-1] 化学溶液堆積と結晶化によって成膜した強誘電体ナノ薄膜の構造と特性

〇藤木 凱¹、村上 秀樹¹、香野 淳²、田尻 恭之² (1.久留米高専、2.福岡大理)

キーワード：Bi層状構造強誘電体薄膜、強誘電体ナノ結晶、光学吸収端

化学溶液堆積法を用いて膜厚5nm程度の誘電体Bi_4-xLa_xTi₃O₁₂ (BLT) 薄膜をSi基板上に直接形成するプロセスを開発した。Ｘ線回折およびＸ線反射率解析からBLT薄膜がナノサイズの結晶粒で構成されていることが分かった。また、BLT/Si界面にSiOx層と密度の低いBLT層の存在が示唆された。分光エリプソメトリを用いてBLTナノ粒子薄膜の光学吸収端を定量評価した。metal-ferroelectric-semiconductor構造の静電容量-電圧特性にヒステリシスが観測された。