[18p-224B-1~11] 17.3 層状物質

[18p-224B-10] 転写用ポリマー上における六方晶窒化ホウ素膜厚の光学的同定

〇安西 勇人¹、山本 真人¹、渡邊 健司²、谷口 尚²、田中 秀和¹ (1.阪大産研、2.物材機構)

キーワード：層状物質