[18p-224B-1~11] 17.3 層状物質

[18p-224B-11] 走査型非線形誘電率顕微鏡と静電気力顕微鏡を用いたSiO₂上剥離WSe₂におけるキャリア分布観察

〇山末 耕平¹、加藤 俊顕²、金子 俊郎²、長 康雄¹ (1.東北大通研、2.東北大院工)

キーワード：層状物質、走査型非線形誘電率顕微鏡、遷移金属ダイカルコゲナイド

走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）によるSiO₂上の剥離WSe₂のキャリア分布観察では，探針-試料間に印加する直流バイアス電圧の極性に依存して異なる極性のキャリアが誘起される．本報告では，SNDMに加えて静電気力顕微鏡（EFM）を併用した同時観察を行うことで，SNDMで観察されるキャリアの誘起メカニズムを議論する．