2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[18p-235-1~14] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2018年9月18日(火) 13:15 〜 17:00 235 (3Fラウンジ2)

有元 圭介(山梨大)、牧原 克典(名大)

13:30 〜 13:45

[18p-235-2] イオン注入基板によるGe1-x-ySixSnyエピタキシャル層の歪緩和促進

祖父江 秀隆1、福田 雅大1、中塚 理1,2、財満 鎭明3 (1.名古屋大院工、2.名古屋大未来研、3.名古屋大未来社会創造機構)

キーワード:GeSiSn、歪緩和