[18p-PA1-1~12] 1.6 Ultrasonics

△ [18p-PA1-3] Evaluation of 36° Y-cut LiTaO₃ with SiO₂ thin film by the line-focus-beam ultrasonic material characterization system

〇Ryota Suenaga¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yuji Ohashi², Mototaka Arakawa², Jun-ichi Kushibiki² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Tohoku Univ.)

Keywords:leaky surface acoustic wave, line-focus-beam ultrasonic material characterization system

直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムを用いて，SiO₂薄膜を装荷した36°YカットLiTaO₃基板について、試料上を伝搬する漏洩弾性表面波(Leaky SAWs: LASWs)の位相速度と規格化伝搬減衰の測定を行った。