[18p-PA1-1~12] 1.6 Ultrasonics

△ [18p-PA1-4] Analysis of Leaky SAW Propagation Properties for LiTaO₃/Quartz Structure -Dependence of Physical Constants of Support Substrate-

〇(M2)Junki Hayashi¹, Shiori Asakawa¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Hiroyuki Kuwae², Toshifumi Yonai³, Kazuhito Kishida³, Jun Mizuno² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Waseda Univ., 3.The Japan Steel Works, Ltd.)

Keywords:leaky surface acoustic wave, coupling factor, quartz

本報告では，LT/水晶接合構造における支持基板の物理定数(弾性定数cij, 誘電率εij, 密度ρ)の各テンソルが，LSAWの結合係数K2に与える影響度について理論的に検討した．それぞれの定数のうち，ρ, c44, c66, ε11, ε33の順にK2への影響が大きく，その他のテンソルはほとんど影響を与えていないことが分かった．そこで，c-Al2O3とATカット90°X伝搬水晶の各テンソルを比較すると，ρ, c44において水晶の方が高結合化に有利であることが確認された．