[18p-PA1-1~12] 1.6 超音波

[18p-PA1-5] LiTaO₃/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性の解析 -スプリアス応答の電極膜厚依存性-

〇(B)浅川 詩織¹、林 純貴¹、山谷 浩介¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、桑江 博之²、米内 敏文³、岸田 和人³、水野 潤² (1.山梨大学、2.早稲田大学、3.日本製鋼所)

キーワード：SAW共振器、縦型漏洩弾性表面波