[18p-PA1-1~12] 1.6 超音波

[18p-PA1-7] イオン液体を用いたエレクトレット材料の表面弾性波の分散関係測定

〇川田 拓弥¹、河口 真志¹、小野 新平²、林 将光^1,3 (1.東大理、2.電中研、3.物材研)

キーワード：SAWデバイス、エレクトレット、表面弾性波

イオン液体への電圧印加とポリマー添加によって分極を半永久的に保持するエレクトレット材料が作製できる。エレクトレットはその半永久的な表面電界の存在から振動発電などへの応用が研究されているが、その分極と柔性から高い電気機械結合係数が予想され、高効率な表面弾性波(SAW)素子への応用が期待される。本研究では、イオン液体を用いて作成したエレクトレット上の表面弾性波の分散関係測定を試みた。