2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

2018年9月18日(火) 13:30 〜 15:30 PA (イベントホール)

13:30 〜 15:30

[18p-PA2-10] 高周波マグネトロンスパッタで成膜したMoSi2-Si複合体薄膜の結晶構造と電気的特性

〇谷本 峻吾1、佐藤 祐喜1、大鉢 忠1、吉門 進三1 (1.同志社大院理工)

キーワード：MoSi2-Si