2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

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[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

2018年9月18日(火) 13:30 〜 15:30 PA (イベントホール)

13:30 〜 15:30

[18p-PA2-17] スパッタ成膜法によるc軸配向CrAlN薄膜の形成と電気機械結合係数kt2評価

鈴木 雅視1、早川 竜盛1、垣尾 省司1 (1.山梨大)

キーワード:AlN薄膜、圧電性、電気機械結合係数