[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA2-17] スパッタ成膜法によるc軸配向CrAlN薄膜の形成と電気機械結合係数k_t²評価

〇鈴木 雅視¹、早川 竜盛¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大)

キーワード：AlN薄膜、圧電性、電気機械結合係数