[18p-PA3-1~4] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[18p-PA3-2] SiO₂薄膜へのNiナノ粒子の分散とナノポア形成

〇立溝 優羽¹、内藤 宗幸¹ (1.甲南大理工)

キーワード：ナノポア、透過電子顕微鏡法