[18p-PA4-1~20] 3.8 光計測技術・機器

[18p-PA4-14] フッ化セリウム薄膜のフッ素脱離が与える光センサ特性への影響

〇加藤 誠也¹、鈴木 健太郎¹、大谷 潤¹、小野 晋吾¹、加瀬 征彦² (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード：紫外光センサ、フッ化物、パルスレーザー堆積法