[18p-PA4-1~20] 3.8 光計測技術・機器

△ [18p-PA4-16] 真空紫外線照射時のCaF₂-金属界面における電気的特性

〇鈴木 健太郎¹、大谷 潤¹、小野 晋吾¹、加瀬 征彦² (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード：フッ化物、真空紫外線検出器

本発表はフッ素化合物であるCaF₂単結晶と金属を選択的に接触させることにより、ゼロバイアスで動作可能な真空紫外線検出器の開発を行ったので報告する。デバイスの作製はCaF₂単結晶に真空蒸着法を用いて、異種金属であるAuとAlの薄膜を単結晶の両面に蒸着した。またAu電極は透明電極として、機能させるため十分薄く蒸着させた。結果として、ゼロバイアスにおける波長感度特性の取得及びパルス光源の測定に成功した。