[18p-PA6-1~30] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[18p-PA6-6] 電気化学インピーダンス法を用いたn-GaN加工表面の評価

〇武田 健太郎¹、渡久地 政周¹、佐藤 威友¹ (1.北大量集セ)

キーワード：窒化ガリウム、電気化学、in-situ評価

これまでに、ドライエッチングによりn型GaN表面に導入された加工損傷を、溶液中の光電気化学（PEC）反応を利用して除去する手法を開発した。今回は、PECプロセスの効果を、溶液中でその場（in-situ）評価する手法について検討した。