[18p-PB2-1~7] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-PB2-4] Au 錘厚膜化によるMEMS 加速度センサの高性能化の検討

〇古賀 達也¹、山根 大輔¹、小西 敏文²、佐布 晃昭²、飯田 慎一²、伊藤 浩之¹、石原 昇¹、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東京工業大学、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS、積層メタル構造、高分解能

我々は，積層メタル技術を用いて高分解能MEMS 加速度センサ（1 mG（G：重力加速度）以下検出）を検討してきた。本研究では，さらに高分解能化と検出範囲拡大に向けてAu 錘の厚膜化によるMEMS 加速度センサの高性能化を検討し，提案デバイスを設計・試作・評価したので報告する。