[18p-PB2-1~7] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-PB2-5] 高分解能3軸シングルAu錘平行平板型MEMS加速度センサの検討

〇(B)市川 崇志¹、新島 宏文¹、古賀 達也¹、山根 大輔¹、小西 敏文²、佐布 晃昭²、飯田 慎一²、伊藤 浩之¹、石原 昇¹、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS、積層メタル構造、高分解能

我々は，応用として身体運動計測への適用を考え，くし歯構造3軸MEMS加速度センサの検討を行ってきた。今回，3軸MEMS加速度センサの高性能化のために平行平板電極構造，および身体運動に対応した検出範囲，高分解能化を検討した。デバイス構造としてAu厚膜化による錘および電極構造を検討し，試作・評価したので報告する。