[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン（ポスター）

[18p-PB3-77] WOCl₄をプリカーサに用いたWS₂単層膜のガス原料CVD

〇佐久間 芳樹¹、池田 直樹¹、大竹 晃浩¹、間野 高明¹ (1.物材機構)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、二硫化タングステン、化学的気相成長法