2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[19a-131-1~11] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2018年9月19日(水) 09:00 〜 12:00 131 (131+132)

鳥越 和尚(SUMCO)、佐々木 拓生(QST)

09:00 〜 09:15

[19a-131-1] データ科学的手法を用いた適応的マッピングのμ ビームX 線回折への実装

沓掛 健太朗1、井上 憲一1、世木 隆2、神岡 武文3、佐々木 拓生4、藤川 誠司4、高橋 正光4 (1.名大未来機構、2.コベルコ科研、3.豊田工大、4.量研)

キーワード:データ科学、マッピング、放射光

適応的マッピングは、測定中にそれまでに取得した値を解析し、測定条件を逐次に
決定しながら行なうマッピング方法である。2 次元の空間マッピングに適用した場合、測定物理
量の空間分布形状に合わせた測定位置が得られ、マッピングの測定点数を大幅に削減することが
可能である。本研究では、適応的マッピングを放射光によるµビームX 線回折マッピングに実装
したので報告する。