[19a-131-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19a-131-11] Si中のウルトラシャローサーマルドナーの基底状態

〇原 明人¹、淡野 照義¹ (1.東北学院大工)

キーワード：シリコン、不純物、欠陥