[19a-131-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19a-131-7] シリコンウェーハにおける自由キャリアのバルク・表面再結合拡散モデル: III.キャリア励起レ-ザの減衰を考慮した厳密解

〇金田 寛¹、大村 一郎¹ (1.九工大院生命体工)

キーワード：シリコンウェーハ、バルクライフタイム、表面再結合

前々回の秋季講演会にて、シリコンウェーハにおいて表面再結合が起きている場合でも、その効果を理論的に分離・除外することによって、自由キャリアのバルク寿命を評価する方法の理論を示した。今回は、その理論においては無視していたキャリア励起用レーザのウェーハ内減衰の効果も取り入れた場合の厳密解を示す。