[19a-133-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [19a-133-11] Enhancement of Output Power for Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvester using BiFeO₃ Films

〇(D)Masaaki Aramaki¹, Takeshi Yoshimura¹, Shuichi Murakami², Kazuo Satoh², Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ., 2.ORIST)

Keywords:BiFeO3, Lead free, Nonlinear

振動発電素子において、加速度を増大していくと非線形効果により発電効率が低下する。非線形効果を低減した素子を設計し、BiFeO₃薄膜を用いて圧電MEMS振動発電素子を作製した。低加速度領域では理論限界値の70%に相当する発電特性が得られ、同じ構造で作製したPZT素子と比較した結果、BiFeO₃を用いた素子がPZTを用いた素子の出力電力を上回り、0.3G_rmsにおいて1.2 µWの発電量が得られた。