[19a-224A-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-224A-1] 水リフトオフプロセスによるβ-Ga₂O₃薄膜の選択成長・マイクロパターニング及び特性評価

〇井藤 聡詞¹、嵐 智明¹、川江 健¹ (1.金沢大理工)

キーワード：酸化ガリウム、選択成長、プロセス