[19a-224A-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-224A-5] 金ナノ粒子修飾サファイヤ基板上酸化ガリウム薄膜の作製

〇増田 泰久¹、金子 健太郎¹、大島 祐一²、四戸 孝³、藤田 静雄¹ (1.京大院工、2.物材機構、3.FLOSFIA)

キーワード：酸化ガリウム