[19a-PA4-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[19a-PA4-2] モリブデン表面におけるフェムト秒レーザー誘起微細構造の作製

〇日紫喜 雅人¹、余 希¹、須藤 正明²、糸魚川 文広¹、小野 晋吾¹ (1.名古屋工業大学、2.イムラアメリカ)

キーワード：フェムト秒レーザー、ナノ周期構造、表面改質

フェムト秒レーザーを用いてモリブデンの表面にナノ周期構造を作製し、周期特性を評価した。さらに、ナノ周期構造に加えて、マイクロ周期構造と組み合わせた構造によってモリブデンの濡れ性の制御に行った。