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[19a-PA4-5] ポリカーボネート上シリコーン塗布膜表面に形成したF2レーザー誘起SiO2改質膜のクラック抑制
キーワード:シリコーン、フッ素レーザー、光化学改質
ポリカーボネート上に塗布したシリコーン樹脂に、メッシュマスクを介してF2レーザーを照射し、クラックフリーのSiO2を形成することができたが、100℃以上の温度において耐熱性試験を行うと、レーザー照射部周辺にクラックが多数発生した。耐熱性試験を行う前にレーザー照射表面をスチールウールで擦ることによりクラックを抑制できること、および、直交方向に擦ることにより、クラック抑制効果をさらに高められることを見出した。