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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19p-131-1~15] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2018年9月19日(水) 13:30 〜 17:45 131 (131+132)

沓掛健太朗(名大)、太子敏則(信州大)、清水康雄(東北大)

13:45 〜 14:00

[19p-131-2] 急冷と徐冷の熱シールドを使った融液からの切り離しによるSi CZ結晶成長中の欠陥分布の観察

〇阿部孝夫¹、高橋徹¹、白井光雲² (1.信越半導体、2.阪大産研)

キーワード：Si中の点欠陥