[19p-133-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-133-18] スパッタリング法によるHfO₂基強誘電体の厚膜化とその電気特性評価

〇志村 礼司郎¹、三村 和仙¹、清水 荘雄¹、舟窪 浩¹ (1.東工大物院)

キーワード：強誘電体、酸化ハフニウム