[19p-133-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-133-19] HfO₂:Y/Si(100)ヘテロエピタキシャル薄膜の構造とその電気特性

〇鎌田 大輝¹、高田 賢志¹、桐谷 乃輔¹、吉村 武¹、芦田 淳¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工院)

キーワード：HfO2、強誘電体、エピタキシャル