[19p-141-1~8] プラズマ・インフォマティクス ～ ビッグデータ解析の活用によるプラズマ科学の発展 ～

[19p-141-6] プラズマエッチング形状最適化への機械学習応用

〇大森 健史¹、中田 百科¹、石川 昌義¹、小藤 直行¹、臼井 建人¹、栗原 優¹ (1.日立研開)

キーワード：プラズマ、エッチング、機械学習

近年の半導体デバイス加工では、ナノスケールの複雑な3次元構造の加工が要求されている。それに伴い、目的の加工形状を得るための条件導出、すなわち加工装置のレシピパラメータの最適化が難しくなっている。本研究では、エッチングプロセス開発の支援を目的として、機械学習を利用したエッチング形状の予測および最適化の手法を開発した。本講演では、予測レシピの実証実験結果およびエッチング形状最適化手法について報告する。