[19p-231A-1~8] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

△ [19p-231A-2] テラヘルツ波デバイスに向けたＧｅ_２Ｓｂ_２Ｔｅ_５相変化材料の評

〇牧野 孝太郎¹、加藤 康作²、齊藤 雄太¹、Fons Paul¹、Kolobov Alexander V.¹、富永 淳二¹、中野 隆志¹、中嶋 誠² (1.産総研ナノエレ、2.阪大レーザー研)

キーワード：相変化材料、テラヘルツ波分光

Ge-Sb-Te合金相変化材料は光ディスクや電気記録デバイスに用いられているが、近年、フォトニクス材料としての研究が盛んになりつつある。本研究では、異なる相のＧｅ_２Ｓｂ_２Ｔｅ_５相変化材料に対してテラヘルツ波時間領域分光を行った。その結果、テラヘルツ波に対する応答が相により大きく変化することが確かめられ、アクティブテラヘルツ波デバイスなどへの応用の可能性が見出された。