[19p-231C-1~19] 12.1 Fabrications and Structure Controls

△ [19p-231C-11] Giant grain growth of vacuum-deposited PTCDI-C8 thin films

〇Yusuke Takagawa¹, Shingo Maruyama¹, Tomoyuki Koganezawa², Yuji Matsumoto¹ (1.Tohoku Univ., 2.JASRI)

Keywords:organic semiconductor, combinatorial

有機薄膜電界効果トランジスタにおいて，結晶粒界はキャリアの移動度を低下させる要因の一つであることから，グレインサイズを大きくすることが重要である．有機半導体の製膜によく用いられる真空蒸着法では，基板温度を高くする，蒸着速度を遅くする等の熱平衡状態に近づける方法がこの目的に有効である．そこで，一枚の基板上で温度を系統的に変化させた温度傾斜法を用いて，N,N’-Dioctyl-3,4,9,10-perylenedicarboximide(PTCDI-C8)についてグレインサイズの製膜温度依存性を調べた．