[19p-231C-1~19] 12.1 作製・構造制御

△ [19p-231C-11] 真空蒸着PTCDI-C8薄膜における巨大グレイン成長

〇高川 佑輔¹、丸山 伸伍¹、小金澤 智之²、松本 祐司¹ (1.東北大院工、2.高輝度光科学センター)

キーワード：有機半導体、コンビナトリアル

有機薄膜電界効果トランジスタにおいて，結晶粒界はキャリアの移動度を低下させる要因の一つであることから，グレインサイズを大きくすることが重要である．有機半導体の製膜によく用いられる真空蒸着法では，基板温度を高くする，蒸着速度を遅くする等の熱平衡状態に近づける方法がこの目的に有効である．そこで，一枚の基板上で温度を系統的に変化させた温度傾斜法を用いて，N,N’-Dioctyl-3,4,9,10-perylenedicarboximide(PTCDI-C8)についてグレインサイズの製膜温度依存性を調べた．