[19p-231C-1~19] 12.1 作製・構造制御

[19p-231C-13] 低温蒸着法によるペンタセン薄膜の分子配向制御

〇塩谷 暢貴¹、マーディー リチャード¹、下赤 卓史¹、長谷川 健¹ (1.京大化研)

キーワード：ペンタセン、face-on配向、pMAIRS

ペンタセンの薄膜中で生じるface-on配向相を実現する機構を理解するために，基板温度（T_sub）を系統的に変えながら製膜し，その後室温で放置した薄膜の分子構造を赤外p偏光多角入射分解分光（pMAIRS）法と微小角入射X線回折（GIXD）を用いて明らかにした．その結果，シリコン基板上では1) 200 K < T_sub < 250 Kのときにface-on配向相が優先的に形成すること，および2) 200 K以下では常温のときとほぼ同様なend-on配向した多結晶薄膜が生じることがわかった