2:00 PM - 2:15 PM
[19p-234A-3] Realization of polyimide / Al junction using sputtering effects of Ar fast atom beam
Keywords:fast atom beam, polyimide
我々はより低抵抗、低損失の配線を目指し金属箔を利用した厚膜配線を研究している。今回、フレキシブル基板上の厚膜配線作製に向けてpolyimideとAl 箔の直接接合をAr高速原子ビームを利用することで達成した。また、作製した試料に400~600℃の熱処理を行い、その耐熱性を評価した。