14:00 〜 14:15 [19p-234A-3] Ar 高速原子ビームのスパッタリング効果を用いたpolyimide/Al 接合の実現 〇(M2)赤澤 秀征1、梁 剣波1、松原 萌子2、ダムリン マルワン2、西尾 佳高2、重川 直輝1 (1.大阪市立大、2.東洋アルミニウム(株))