[19p-234A-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-234A-3] Ar 高速原子ビームのスパッタリング効果を用いたpolyimide/Al 接合の実現

〇(M2)赤澤 秀征¹、梁 剣波¹、松原 萌子²、ダムリン マルワン²、西尾 佳高²、重川 直輝¹ (1.大阪市立大、2.東洋アルミニウム(株))

キーワード：高速原子ビーム、ポリイミド

我々はより低抵抗、低損失の配線を目指し金属箔を利用した厚膜配線を研究している。今回、フレキシブル基板上の厚膜配線作製に向けてpolyimideとAl 箔の直接接合をAr高速原子ビームを利用することで達成した。また、作製した試料に400～600℃の熱処理を行い、その耐熱性を評価した。