[19p-436-1~17] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[19p-436-9] Ba/Si堆積レート比がB-doped BaSi₂膜の電気特性に与える影響

〇杉山 周¹、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大)

キーワード：半導体