2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[19p-437-1~15] 9.5 新機能材料・新物性

2018年9月19日(水) 13:45 〜 18:00 437 (437)

高瀬 浩一(日大)、香野 淳(福岡大)、生田 博志(名大)

14:15 〜 14:30

[19p-437-3] 電気化学エッチングによる黒リンの輸送特性制御

荒木 友輔1、佐藤 洋平1、片山 裕美子1、高橋 敬成2、笹川 祟男2、上野 和紀1 (1.東大総合文化、2.東工大フロンティア研)

キーワード:電界効果、層状物質、黒リン

リンの同素体で層状構造をもつ黒リンはFET を用いて室温での移動度が1000 cm2/Vsを超えると報告されており、バンド計算から原子数層の極薄膜にすることで、バンドギャップの値が 0.3 eV から 1.5 eV にまで増加することが報告されている。今回、我々はホール測定が可能なホールバー形状の黒リン試料に電気二重層トランジスタを作成し、電気化学エッチングにより黒リンのデバイス特性、輸送特性が大きく向上したので報告する。