[19p-437-1~15] 9.5 新機能材料・新物性

△ [19p-437-3] 電気化学エッチングによる黒リンの輸送特性制御

〇荒木 友輔¹、佐藤 洋平¹、片山 裕美子¹、高橋 敬成²、笹川 祟男²、上野 和紀¹ (1.東大総合文化、2.東工大フロンティア研)

キーワード：電界効果、層状物質、黒リン

リンの同素体で層状構造をもつ黒リンはFET を用いて室温での移動度が1000 cm²/Vsを超えると報告されており、バンド計算から原子数層の極薄膜にすることで、バンドギャップの値が 0.3 eV から 1.5 eV にまで増加することが報告されている。今回、我々はホール測定が可能なホールバー形状の黒リン試料に電気二重層トランジスタを作成し、電気化学エッチングにより黒リンのデバイス特性、輸送特性が大きく向上したので報告する。