[19p-PA4-1~27] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PA4-11] 膨張天然黒鉛シート上のp型およびn型GaN成長

〇井上 崇¹、桟敷 剛²、細川 敏弘¹、武田 章義¹、岡野 寛² (1.東洋炭素（株）、2.香川高専)

キーワード：窒化ガリウム、黒鉛シート、p型

我々は、膨張天然黒鉛シートPERMA-FOIL^®上へのフレキシブルGaN発光デバイスの開発を行っている。これまでにPL発光するGaN膜の成長とその成長条件の最適化を実施した。
今回pn接合デバイス作製のため、PERMA-FOIL^®上にp型とn型GaNをそれぞれ作製した。当日は、PLスペクトルの詳細とGaN結晶の形態についても示す。