[19p-PA4-1~27] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PA4-13] 有機金属気相エピタキシー成長における熱力学解析：半極性面の検討

〇瀬田 雄基¹、アブドルムィッツ プラディプト¹、秋山 亨¹、中村 浩次¹、伊藤 智徳¹、草場 彰²、寒川 義裕^2,3 (1.三重大院工、2.九州大院工、3.九州大応力研)

キーワード：窒化物半導体、熱力学解析、半極性面